盛密科技推出适用于半导体制程控制的4系列氯化氢传感器4SM HCL-10

盛密科技经过技术人员的不懈努力,于今日正式发布全新的4系列氯化氢电化学传感器:4SM HCL-10。

该传感器顺利通过了全套严苛的性能验证。我们来看看它的各项性能。

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响应曲线

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上图是30只4SM HCL-10传感器通1分钟空气和4分钟10ppm的HCl气体的测试数据。

线性

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上图是30只4SM HCL-10传感器分别通入空气、4ppm、6ppm、8ppm和10ppm的HCl气体的测得结果,在0~10ppm内,线性判决系数R²为0.9937。

重复性

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上图是30只4SM HCL-10传感器分别6次通入10ppm的HCl气体的响应曲线,当输出稳定之后记录输出值,6次的相对标准偏差RSD均小于2%。

分辨率

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上表是16只4SM HCL-10传感器的测试结果,分辨率2倍STDEV在3ppb以内。

长时间测试

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上图是30只4SM HCL-10传感器通入10ppm的HCl气体30分钟的测试结果,平均变化率在10%以内。

交叉干扰

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通过上表可以看出,5000 ppm的乙醇对于4SM HCL-10 传感器无干扰。

不受乙醇干扰的传感器非常适用于半导体行业制程控制。

产品亮点

4SM系列氯化氢传感器(4SM HCL-10)已具备:

亮点1:分辨率高,2倍标准偏差分辨率在3ppb以内,能符合半导体行业所涉及气体的TLV-TWA阈值都很低的情况。

亮点2:抗乙醇干扰,非常适用于半导体行业制程控制。

亮点3:稳定性佳,传感器长时间工作灵敏度变化小。

盛密科技(上海)有限公司

公司主要产品有电化学气体传感器、红外气体传感器、光离子化PID传感器、传感器模块、传感器模组、辐射报警设备等。成立九年以来,公司一直处于稳步增长状态。公司在技术方面锐意革新,现已拿到多项专利,并荣获高新技术企业、专精特新企业、科技小巨人培育企业等称号。

来源:盛密科技

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