生活中，温度计能测温度，体重秤能测体重，这背后发挥关键作用的就是传感器。传感器就像是电子设备的“眼睛”和“耳朵”，能感知各种信息，比如温度、压力、光线等等，然后把这些信息变成电信号，让设备能“看懂”和“听懂”。
MEMS 压力传感器呢，是传感器家族里的一个“小巧玲珑”的成员。它体积很小，可以集成在各种小小的设备里，专门负责测量压力。而基于 Cavity-SOI 原理的压阻式绝压压力传感器是 MEMS 压力传感器中的一种特殊类型，它凭借独特的技术原理和结构，实现了更精准的绝对压力测量。
比如说，您给轮胎打气时，想知道轮胎内部的压力到底够不够；或者在工厂里，要确保管道中的液体压力处于安全范围。这时候，就得靠它来帮忙测量压力。
这个传感器到底是怎么工作的呢？其实，它采用了一种巧妙的“压阻式”方法。您可以把它想象成一个很敏感的小弹簧，当有压力作用在上面时，它就会被压缩或拉伸，从而改变内部的电阻。而通过检测这个电阻的变化，就能精确地知道压力的大小。那“Cavity-SOI 原理”又是什么呢？Cavity-SOI技术是通过在SOI晶圆上制造一个封闭的空腔来实现绝压测量，这就像是给这个传感器加上了一层超级防护，让它测量压力的时候更精准、更稳定。就好比给运动员穿上了最合脚的跑鞋，能让他们跑得更快、更稳。
在我们的日常生活中，它的作用可不小。在汽车领域，它引擎管理系统、制动系统和气候控制系统的好帮手；在工业领域，它常用于液压系统、气动系统和过程控制系统，提供实时压力数据，帮助控制系统及时调整和维护；在医疗方面，它被用于呼吸机、血压监测仪和其他医疗设备；在消费电子领域，诸如智能手机、智能手表等产品中也有它的身影。
晶园公司推出两款性能优异的MEMS压阻式绝压压力传感器——150kPa和700kPa，这两款产品具有高精度、高可靠、低功耗、稳定性强、抗干扰能力强、工作温度范围广泛、芯片尺寸微型化等突出特点；并且该产品绝压真空腔体的各项参数均表现优异，性能出色。其中，150kPa的传感器常用于进气歧管压力监测，能优化燃油喷射和点火时机，提升汽车的燃油效率和动力性能。在医疗领域，它能精准监测呼吸机中的气道压力，为患者的呼吸治疗提供可靠保障。在智能手机中，其气压计功能可帮助实现海拔高度测量和准确的天气预报。700kPa的传感器是涡轮增压引擎的得力伙伴，能够精确测量引擎压力，确保发动机在高负载下的安全运行。在医疗方面，对于像体外循环设备这类需要更高压力监测的设备，700kPa的传感器能够提供精准数据，保障医疗操作的顺利进行。
公司目前正在进行绝压产品压力量程系列化拓展，后续将完成100kPa~2000kPa绝压压力量程产品全覆盖及量产化。在未来的工作中，我们将不断致力于技术创新和产品优化，为客户提供更多高性能、高可靠性的MEMS传感器产品！
来源：无锡中微晶园电子有限公司
