先进封装领域新突破 华进半导体发布国内首个APDK

先进封装领域新突破

近日,华进半导体联合中科院微电子所和华大九天发布了一项针对2.5D转接板工艺的APDK(Advanced Packaging Design Kit)。该APDK的发布标志着国内先进封装领域的新突破,将成为沟通IC设计和封装厂商的桥梁。

后摩尔时代,芯片制造面临物理极限与经济效益边际提升的双重挑战,“摩尔定律”日趋放缓,业内转而关注系统级芯片集成,通过先进封装技术来满足系统微型化、多功能化,成为集成电路产业发展的新趋,“Chiplet”技术面市后,封装技术愈发复杂,IC设计和封装设计都面临新的挑战。APDK借鉴了PDK在IC设计界数十年来的成功运用,目标是把先进封装工艺设计进行打包,以实现复杂芯片或系统级多芯片集成的成功设计。

  • APDK包括四大模块,分别是:

    Technology File:底层设置文件,负责定义工艺参数,提供工艺及设计优化指导;  

    常规结构:针对华进硅转接板制造工艺中的常用结构(包含Via/Micro Bump/C4 Bump/TSV/Testkey等),APDK提供参数化单元,供用户在design rule的约束下灵活选择;  

    IPD器件与模型:针对集成硅转接板的无源器件,APDK提供了参数化单元以及包含元件电学特性的模型,为用户搭建原理图、前仿真、layout以及后仿真提供可靠支持;  

    Rule Deck:根据华进硅转接板工艺特点,制定DRC约束配套文件, EDA工具高效配合规则检查。通过LVS检查layout与原理图/网表的连接关系一致性,迅速定位Open&Short。

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  • APDK的优势:  

    搭建华进半导体转接板生产工艺下的各种器件库,如:参数化单元(VIA/TSV/TestKey等),IPD器件SPICE模型;  

    华进半导体在先进封装领域深耕十年,根据自身工艺能力,建立了一组描述半导体工艺细节的文件,供EDA工具配套使用;  

    定制化的先进半导体封装设计规则检查方案,以确保设计版图满足华进生产指标。

华进半导体自成立之初便集中精力开发TSV技术,并在国内率先实现了12吋硅通孔转接板的制造;基于此研发成果,华进半导体还重点开发了Via-Last TSV、晶圆级封装等先进工艺,构建了较为完整的三维系统集成封装技术体系。目前,华进半导体有能力提供从2.5D封装设计、到硅转接板晶圆制造、到2.5D组装成套一站式解决方案,并已为国内外50余家知名企业提供了2.5D/3D集成封装技术服务。未来我们将凭借工艺经验,面向Chiplet等前瞻性技术,开发并建立一系列专用APDK,为发展更小线宽线距、更高集成度的先进封装工艺技术打下夯实基础。

关于华进半导体

华进半导体于2012年9月在无锡新区注册成立,主要开展系统级封装/集成先导技术研究,研发2.5D/3D TSV互连及集成关键技术(包括TSV制造、凸点制造、TSV背露、芯片堆叠等),为产业界提供系统解决方案。同时开展多种晶圆级高密度封装工艺(包括WLCSP/Fan-out)与SiP产品应用的研发与大规模量产,以及与封装技术相关的材料和设备的验证与研发。

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