12月26日，弥费科技（上海）股份有限公司（以下简称"弥费科技"）在上海临港新片区举办"弥费科技临港生产基地暨全球研发中心启用仪式"。弥费科技专注于AMHS的研发、生产与制造，临港工厂作为弥费科技AMHS项目研发和生产总基地，占地面积约8000平米，其中建设了2000平米的以天车为核心的洁净室AMHS整体解决方案标准化示范线。
弥费科技董事长、CEO缪峰表示："弥费科技立志成为具有全球影响力的半导体设备公司。2018 年，我们开始专注在 AMHS 系统的自主研发，至今已经推出了 33 款AMHS 软件及相关硬件，并且进入了全球前五大半导体晶圆厂之中的四家。新工厂的启用标志着弥费科技的研发、生产以及整体运营能力进一步提升。"
半导体晶圆厂自动物料搬运系统AMHS是能够直接影响半导体晶圆厂的物料运转、产能绩效的核心系统之一，可实现半导体晶圆制造过程中的高效自动化，有效提高晶圆厂生产线运行效率和稳定性，降低人工成本和错误率，为客户降本增效，扩大竞争优势提供助力。
作为中国领先的半导体晶圆厂AMHS设备整体解决方案供应商，弥费科技完成了从AMHS产品供应商向AMHS系统级供应商的演进。随着率先完成晶圆厂AMHS系统级整厂订单交付与验收，弥费科技已成为国内首家具备整厂级AMHS解决方案、量产能力、项目实施经验和交付案例的国产替代供应商，填补了国产半导体AMHS系统在该领域的空白。
弥费科技CTO李宏伟介绍，成立至今，弥费科技形成了五大核心竞争力：成套能力，产品组合可以建设整个晶圆厂；正向研发设计能力，从仿真、设计到验证，全体系保证产品质量；自主研发能力，背后是对整个生态体系的建设；应用能力，核心成员均为来自国内外知名晶圆厂的资深从业者，可以非常精准地指导产品定义；算法能力，可以支撑500 台甚至1000 台的天车调度。
历经多年的持续研发，弥费科技推出了天车核心传输设备、协作式机器人、晶圆存储设备、光罩存储设备、缓冲存储设备、上下料口净化设备等三十余种AMHS设备和软件调度系统，知识产权数量达到200件以上。AMHS软硬件产品已累计交付超过30家国内外晶圆厂客户，同时积累了丰富的技术和项目经验。
截止目前，弥费科技自主研发的AMHS核心传送设备天车OHT、存储设备Stocker都已完成多个版本的技术迭代。在软件调度系统方面，成立了X-Lab实验室，基于领先算法持续提升系统效能。该实验室正从大规模调度的全局优化、机器视觉代替传感器、可预测性维护三个方向发力，用AI技术为系统赋能。
缪峰表示，弥费科技一路走来不断开拓壮大，临港工厂作为弥费科技AMHS进入大批量量产阶段重要的生产基地，新工厂交付能力较之前提升了4倍，有效填补了国产半导体AMHS市场空白，弥费科技还将进一步实现8英寸和12英寸大型半导体晶圆厂AMHS的整厂量产交付，并基于技术实力进军国际市场。
未来，弥费科技将继续加大研发投入，提速产能部署，以高效、精准、安全的AMHS产品与解决方案，以"持续创造客户价值"为导向，为客户提供卓越的技术支持和服务，助力集成电路产业实现持续节能增效，提升市场竞争力。
稿源：美通社
