Gigaphoton为美国厂商的微孔加工提供准分子激光器
半导体光刻用光源制造商Gigaphoton Inc.（总部：枥木县小山市；总裁兼首席执行官：Tatsuo Enami）宣布，“G300K”微孔加工光源已交付给日本一家专门从事后端设备制造的设备制造商，该集成系统已成功安装在美国一家公司的工厂内。
Gigaphoton
Gigaphoton将在SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会发布技术解决方案
公司将在半导体光刻技术盛会上发表论文
Gigaphoton 通过新建生产大楼提高准分子激光光源的产能
产能提高2.5倍，以应对大幅增长的市场需求
Gigaphoton开始批量生产出厂支持微细化最前线的ArFi光源GT66A
Gigaphoton股份有限公司（总部: 栃木县小山市、董事长兼总经理: 浦中克己）宣布，已开始批量生产出厂采用新技术的最新半导体制造光刻光源ArF浸没式激光器“GT66A”。