中微公司扩充业务产品线,推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW winniewei -- 周二, 05/09/2023 - 16:41 近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,上交所股票代码:688012)推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。