另一家中国光刻机厂商浮出水面! winniewei -- 周四, 07/04/2024 - 10:35 目前中国本土只有ABM Inc.与SMEE为自主研发、设计、且拥有包括核心零部件和重要子系统自主知识产权的光刻机整机集成制造商。