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安集科技王雨春博士:CMP的艺术,以材料创新助力中国创“芯”

11月2日,2021年中国半导体材料创新发展大会(中国集成电路制造年会暨供应链创新发展大会)在广州召开。安集微电子科技(上海)股份有限公司副总裁王雨春博士作为受邀嘉宾,在大会上发表了《CMP的艺术,纳米界面的材料工程科学原理》的演讲。